廈門光刻膠   美國光刻膠

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• 通過測量水接觸角判斷處理效果

• 處理前水接觸角約40度(親水)

• 理想處理后水接觸角應達到65-80度

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• 在熱底漆烤箱內進行，溫度130-160℃

• 晶圓表面的OH基團與HMDS中的甲基發生反應

• 處理時間通常為30-60秒
  

• 在真空中進行，溫度約140-160℃

• 目的是從晶圓表面去除水分，恢復其天然狀態
  

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