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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統和清理爐內各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質樸檢漏儀檢漏。

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TD-800型軟軸提拉型單晶爐，是根據用戶實際需求研發的新產品。是在流動惰性氣體環境中，以石墨電阻加熱器，將硅半導體材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。它可以生產大規模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機系統包括：底座立柱、坩堝驅動裝置、主爐室、翻板閥室，副爐室，籽晶提升與旋轉機構、液壓驅動裝置、真空系統，充氣系統及水冷系統。爐室結構為頂升式，主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實現上移。爐室和副爐室之間，設有浮動式翻板閥室，可在現場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續拉晶。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統,主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據各部分的功能,可以大致分為加熱系統、傳熱及支撐系統、導流系統、保溫系統等。如加熱系統包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統包括導流筒等部件,保溫系統包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區域的分布,直接影響了拉晶生產是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質。