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美國(guó)國(guó)外以美國(guó)KAYEX為代表，生產(chǎn)全自動(dòng)硅單晶體生長(zhǎng)爐。KAYEX是目前世界上，進(jìn)的硅單晶體生長(zhǎng)爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場(chǎng)，已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長(zhǎng)的硅晶體生長(zhǎng)爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機(jī)的全過(guò)程由計(jì)算機(jī)實(shí)行全自動(dòng)控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長(zhǎng)內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國(guó)內(nèi)臺(tái)15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過(guò)程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國(guó)原有1公斤、th3orum級(jí)的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問(wèn)題很多，例如，熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)、減壓工藝的設(shè)計(jì)與調(diào)整分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，周期式電阻爐的分類A． 箱式爐 B． 臺(tái)車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移）　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉(zhuǎn)筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進(jìn)行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。