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臭氧消毒柜是一種常見的消毒柜，主要采用高壓放電或紫外線將空氣中的氧分子電離成臭氧分子，來破壞細菌、病毒等微生物的組織，進而達到殺菌消毒的目的。
一般臭氧消毒柜里的臭氧含量低，不會對人體器官造成傷害。使用時只要注意開窗通風，定期檢查維修，機器出現故障及時維修，就不會散發出大的臭氧氣味。臭氧是一種氣態氧化劑，它的殺菌過程是一種強氧化作用，使微生物細胞內的各種成分發生反應，產生不可逆的變化和死亡。臭氧通過直接破壞病毒的核糖核酸或脫氧核糖核酸物質來滅活病毒。
此外，臭氧具有優良的除臭性能。依靠其氧化性，能迅速分解產生異味和其他異味的有機或無機物質。氣味的主要成分是胺R3N、硫化氫H2S、甲硫醇CH3SH等。臭氧氧化分解，產品無異味。
按消毒方式分，有低溫消毒、高溫消毒或多種組合消毒方式。
前者消毒溫度一般在60℃以下，適用于各種餐具，特別適用于不耐高溫的塑料和玻璃制品。后者消毒溫度一般在100℃以上，消毒效果好，適用于陶瓷、不銹鋼等耐高溫產品的消毒。
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