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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續加料，如此循環，進而完成外部加料、化料，本發明可實現連續拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動，
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單晶爐真空系統的除塵技術為便于分析研究起見，將整個除塵過程分為有聯系而又有區別的如下三個過程。捕集分離過程該過程可分為捕集推移階段和分離階段。 捕集推移階段 均勻混合或懸浮在氣體中的粉塵進入除塵器的除塵空間，根據不同的除塵器類型經受不同的外力作用，將粉塵推移到分離界面。隨著粉塵向分離界面推移，濃度也越來越大，故捕集推移階段實質也是粉塵濃縮的階段。分離階段 高濃度的塵流向分離界面以后，有兩種機理在起作用：氣體運載粉塵的能力將達到極限狀態，懸浮與沉降這對矛盾中，沉降成為主要方面，通過沉降，粉塵從氣體中分離出來。極限狀態的影響因素一般與氣流速度及邊壁的邊界條件有關。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，排氣筒與排氣口相通。上盤的幾個圓孔是除塵區域和排氣區域通道。含塵氣流未從上盤12 個圓孔排出去之前，實際的氣流運動是很復雜的。除切向和軸向運動外還有徑向運動。這樣含塵氣流會反復經過金屬網(支撐內、外層金屬網的金屬桿相互錯列，很明顯能夠增加氣流穿過金屬網的次數)。前文已詳細論過除塵機理,很容易看出慣性碰撞、接觸阻留、篩濾作用、擴散在這時將成為除塵的主要作用力。塵粒與氣流分離界面是內、外兩層金屬網(包括上盤在內)。
