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除塵器內的空間由圓柱容器經上、下蓋密封形成，整個空間分成兩大區域：除塵區域和排氣區域。含塵氣流由切線進氣口進入除塵區域，沿外壁由下而上螺旋形旋轉運動。氣流作旋轉運動時，塵粒在慣性離心力的推動下，要向圓柱容器內壁移動。到達內壁的塵粒在氣流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。這種情況，離心力是除塵器的主要作用力，塵粒與氣流分離界面是圓柱容器的內壁。還有，圓柱容器內設置內外兩層金屬網，內層金屬網纏繞于內側的6 根金屬桿上。外層金屬網纏繞于外側的8 根金屬桿上。這14 根金屬桿被固定在上盤和盤上。它們固聯于圓柱容器上法蘭。圓柱容器設置的排氣筒是排氣區域。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，專利文獻CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場的氣流控制方 法及裝置，其包括在單晶爐晶體生長室內的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導氣裝置，使含有一氧化硅的氣體的氣流經密封導氣裝置的導氣管 及排氣口，在真空泵的作用下，排出爐外。密封導氣管裝置由導氣管、底 座、密封環、排氣口所組成，安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現有技術的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出，從而使混合氣體中的一氧化硅對加熱器和坩堝進行腐蝕， 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內充入時的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上，導致其流量較大，故而消耗量大，生產成本較高。
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