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而采用有限元法數值模擬是一種優化單晶爐設計的重要工具。本文對采用矮加熱器的復合式熱場進行了數值模擬,得到了流場分布圖和熱場溫度分布圖。對新型熱屏和矮加熱器對晶體生長的影響進行了系統的理論分析和實驗驗工作。結果表明,新型熱屏不僅起到導流筒的作用,改進了流場,使單晶氧含量下降;而且熱屏解決了大直徑單晶生長中結晶潛熱難以散發的問題,大大提高了拉晶速率,降低了生產成本。

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由于數值模擬提供了一個近似真實的過程，利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環境等）對晶體質量的影響做出容易的判斷。數值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說，對于無經驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節。所以數值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，而石墨加熱器作為加熱系統的核心部件,通過自身發熱作為整個熱場的熱量來源,因此也是整個熱場中為核心的部件。而加熱器的設計需要綜合考慮熱學、力學、電學、機械等各個領域內的知識,比較復雜,因此很多使用的加熱器都存在種種先天缺陷,造成使用時發熱不足、打火、變形過大、壽命過短等問題。下文將從加熱器的使用要求入手,分析加熱器的設計。2加熱器的工作原理與使用要求