浙江濱江控制柜回收 浙江濱江單晶爐回收
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工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當外部化料器7中的硅料加完后,再關閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續加料,如此循環,進而完成外部加料、化料,本發明可實現連續拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產效率;本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動,藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,所述主爐室內設置有主爐室坩堝,所述下驅動裝置和主爐室坩堝相連,以便通過下驅動裝置動主爐室坩堝升降,所述副爐室和主爐室相連通,所述上驅動裝置安裝在副爐室的上端,以便通過上驅動裝置驅動拉晶,它還包括:外部加料器,所述外部加料器內設置有加料腔,所述加料腔內設置有加料坩堝,所述外部加料器的蓋裝有上蓋;用于熔化硅料的外部化料器,所述外部化料器的和加料坩堝相連通,所述外部化料器的底端和主爐室坩堝相連通,以便將硅料加加料坩堝后,硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化,被熔化后的硅料流主爐室坩堝內。進一步提供了外部化料器的具體結構,所述外部化料器包括裝料器、化料器坩堝和用于給化料器坩堝加熱以便硅料熔化的熱場,所述裝料器和加料坩堝相連通,所述化料器坩堝和裝料器相連通,所述熱場套裝在化料器坩堝的外側,便硅料依次進入加料坩堝、裝料器和化料器坩堝,并在化料器坩堝內經熱場熔化后又進入主爐室坩堝。
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