Inlens 探測器均放置 在鏡筒內正光軸上， 在減少重新校準耗時 的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。 Gemini 電子束推進器技術可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運動時始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場對系統靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應用了 Gemini 設計、 Inlens 探測器和電子 束推進器技術。

智能自動光路調節優化了通過鏡筒的電子軌 跡，從而確保了在每個加速電壓下盡可能高 的分辨率。它還引入了新的自動功能，在整 個放大倍數范圍內(從 1 倍到 2,000,000 倍) 實現無縫對準自由切換，并將觀察視野增 加了 10 倍，從而可以在單幅圖像中完整成 像 13 厘米的物體。GeminiSEM 560 保持了 市場上尺寸達 32k × 24k 的超大圖像存儲像素， 在大視野無畸變拼接成像方面優勢。

全套探測系統： 根據出射能量和出射角選 擇性地探測樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測系統有大量不同 的探測器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測器、 Inlens 二次電子探測器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測器獲取樣品 材料、表面形貌或結晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設 計的電子束推進器向后加速進入鏡筒，并經 Gemini 物鏡投射到環形 Inlens 二次電子探測 器里。 GeminiSEM 可根據樣品的表面條件在 寬角度范圍內探測二次電子。

強化顯微鏡系統
蔡司顯微鏡系統可采用多種方式升級：開放式的升級界面讓您一直保持較高的技術水準。當新 升級的裝備付諸應用時，不僅能延長顯微鏡的使用壽命，還能提高工作效率。

在工業質量、失效分析或研究環境中，由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息，所以它
是金相學和失效分析應用的理想之選。

成像靈活.光學顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實現反射光和透射光的觀察, 同時也可進 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實現樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設置時間, 提 高獲得結果的效率。