1972年Fujishima和Honda發現光電池中光照射TiO2可以發生水的氧化還原反應放出H2，1976年Carey等將半導體用于有機污染物降解，光催化的方法引起了廣泛的重視 。
早期對光催化技術的研究多集中在有機污染物的降解上，直到1985年，Matsunaga等利用UVA波段的光源在TiO2催化下進行了殺滅微生物實驗 。至此，一系列的AOT光催化滅菌的研究工作從此展開。
紫外線消毒是一種物理方法，它不向水中增加任何物質，沒有副作用，這是它優于氯化消毒的地方，它通常與其它物質聯合使用，常見的聯合工藝有UV+H2O2、UV+H2O2+O3、UV+TiO2，這樣，消毒效果會更好。
能夠輸出足夠的UVC強度用于工程消毒的只有人工汞（合金）燈光源。紫外線殺菌燈燈管是由石英玻璃制成，汞燈根據點亮后的燈管內汞蒸氣壓的不同和紫外線輸出強度的不同，分為三種：低壓低強度汞燈、中壓高強度汞燈和低壓高強度汞燈。
