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本文從晶體生長物理基礎和流體力學的基本理論出發,結合硅單晶制備過程中熱質輸運的分析,采用實驗和數值分析相結合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對象,研究熱場結構、控制參數和外加磁場對大直徑硅單晶生長的影響。通過數值分析的手段,研究了結構參數和控制參數對晶體生長特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場制備出400mm和45 
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采用了上述技術方案后，本發明具有以下有益效果：、取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝，蓋上外部加料器的上蓋，將外部加料器真空抽到合適壓力值時打開旋閥，硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝，當外部化料器中的硅料加完后，再關閉旋閥，把外部加料器充常壓，打開外部加料器的上蓋繼續加料，如此循環，進而完成外部加料、化料，本發明可實現連續拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實現連續拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，工業爐：分為電爐和燃燒爐（狹義的工業爐指燃燒爐）2． 主要產品七大類：電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理（或熔煉）機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三． 電阻爐：三大部件：加熱器、爐襯、耐構件 1． 分為周期式及連續式兩大類 2． 周期式爐的特征：A． 爐料同時加入同時取出 B． 加熱時爐料基本不動（特殊情況除外：如滾筒爐，輥底爐） C． 工作區內力求溫度均勻。
