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并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；當不再繼續加料時，通過化料器升降驅動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉旋開外部化料器7，進而方便拆爐和清理；本發明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震，使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質量；本發明的升降絲桿91、旋轉絲桿112和絲杠192的外側分別套裝有防塵罩，進而防止潤滑油脂揮發污染原料。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，除塵機理示、擴散當含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時，這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物，因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離，而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產生的不規則運動，使氣體分子之間的熱運動而產生的不規則運動，使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散，可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術網(認為如果有一物體置于氣體之中，一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上，從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒，如帶有一定的電荷，可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態下，塵粒的荷電量很小，因此，要得到較好的除塵效果，設置的高壓電場，使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結、加濕等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除塵方法去除。我們設計除塵器時要根據不同的具體情況，考慮一定的需要，采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。

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本文結合某單晶爐產品的研制 ,設計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統 ,并在實際生產中獲得成功應用。2　設計的關鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統的驅動電機轉速 n經減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據硅單晶生產工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內無級調節 ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經折算后 (見下節式 ( 3) )