氧化鋁拋光液適用于金相和巖相研磨、拋光外,還適用于各種黑色和有色金屬、陶瓷、復合材料以及寶石、儀表、光學玻璃等產品的高光潔度表面的研磨及拋光。極細的磨料能夠得到需要的超精拋光平面。
優點:
1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。
2.顆粒分散均勻,不團聚,軟硬度適中,有效避免拋光過程中由于顆粒團聚導致的工件表面劃傷缺陷。
3.運用拋光過程中的化學新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質量。
4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。
5.無粉塵產生,關注環保和人體健康安全。
氧化鋁拋光液,涉及半導體碳化硅晶圓拋光材料制備技術領域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調節劑0.1?10、余量為高純水;其制備過程為:①備料;②磨料預處理;③混合;④pH值調節;⑤高壓均質。