廈門光刻膠   美國光刻膠

AZ MIR701(14CP&29CP)是一種熱穩定的(軟化點>130℃)、高清晰度的光致抗蝕劑，專為干法微米結構蝕刻優化。該產品具有以下核心特性：

• ?熱穩定性?：軟化點超過130℃，適合高溫工藝環境

• ?膜厚可調性?：14CP版本在4,000 rpm時膜厚約900 nm，稀釋后可達100 nm；29CP版本在4,000 rpm時膜厚約1.6 μm

• ?光敏特性?：對紫外線(i,h,g線)敏感(310-440 nm)

• ?高分辨率?：適用于激光干涉光刻等需要高分辨率的工藝

• ?工藝適應性?：可進一步稀釋至500納米及以下，滿足不同分辨率需求

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