廈門光刻膠   美國光刻膠

• ?高熱穩(wěn)定性?：玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)約為190°C
  

• ?應(yīng)用范圍?：適用于金屬剝離工藝和厚金屬化處理(>4μm)

• ?工藝優(yōu)勢?：可實現(xiàn)高分辨率(<0.25μm)的金屬化圖案
  

• ?熱交聯(lián)反應(yīng)?：負性光刻膠在110°C以上會觸發(fā)熱交聯(lián)反應(yīng)，導(dǎo)致顯影不
  

• ?結(jié)合力提升?：溫度升至150°C以上時，基板表面的羥基(-OH)會發(fā)生熱裂解反應(yīng)，顯著提升光刻膠與基板的結(jié)合力
  

• ?工藝標準?：后烘工藝溫度通常為120-130°C

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