在AOT光催化水體滅菌技術中，起主要作用的是在反應過程中產生的羥基自由基·OH，羥基自由基具有強氧化性、高活性、非選擇性等特點，能夠迅速將微生物等有機物降解為CO2、H2O和無機鹽。
這些費用的估計中沒有包括采用非紫外線消毒工藝時可能附加的去除消毒副產物和隱孢子蟲孢囊的費用。另外還有分析數據顯示紫外線消毒的投資和運行成本均低于氯消毒，消毒成本約為氯的一半，但其差別隨著水處理規模的擴大而縮小。
在法國和前蘇聯，紫外線消毒局限于小型設備，所建立的大型設備是將紫外線燈串聯安裝在濾后水的總管內。在美國紫外線消毒也限于小設備和泳池，并常與其他消毒劑聯用。但在實際應用中報道采用紫外線消毒的飲用水廠的規模已有超過150萬噸/日。
目前我國的紫外線消毒一般用于少量水處理，在純水制備系統應用較多。
目前國內研究、生產和應用污水紫外線消毒器還很少。天津大學的顧平等人以天津紀莊子污水處理廠的深度處理出水為研究對象，進行了靜態和動態試驗，確定了紫外線劑量與細菌存活率之間的關系，并設計出能產生紊流的紫外線消毒器，多元水環保技術產業(中國)有限公司研制生產的封閉式消毒器可處理100～500m3/h水量，并且在onclick="g('游泳池');">游泳池的循環水消毒中已有應用，模塊化敞開式消毒器可根據用戶需求具體設計安裝。煙臺市套子灣污水廠的深度處理采用了敞開式紫外線消毒工藝，可向城市提供4×104m3/d的工業回用水。
