石墨舟烘箱與普通烘箱本質的區別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時，之后進行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強，否則很容易導至酸性液體滲透至箱體內部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術成熟，焊縫焊點做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結構優良，智能操作，便于維修即可，對防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產成本上要比石墨舟烘箱低很多。

熱風循環烘箱是一種廣泛應用于工業生產中的設備，主要原理是利用強制循環的熱風將物料表面和內部的水分蒸發，從而達到烘干的目的。該設備通常由箱體、加熱系統、通風系統、傳動系統、控制系統等組成。加熱系統可以采用電加熱、液體燃料或者天然氣等不同的熱源，通風系統則通過過濾器使空氣與物料接觸更加均勻。在工作時，物料被放置于烘箱中，通風系統通過過濾器吸入空氣，經過加熱后形成熱風并強制循環，這樣熱風就能夠充分地接觸物料表面和內部的濕氣，使濕氣蒸發出去。在循環的過程中，熱風也會帶走一些揮發性物質，使物料表面更為干燥。

石墨舟的維護主要包括以下幾個方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進行擦拭。烘干石墨舟時，應將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會發生損壞，因此需要定期檢查。檢查時，應檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發現損壞，應及時維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應存放在干燥、清潔的環境中。存儲時，應將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進行保護。

石墨舟是用于半導體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長使用壽命至關重要。

電熱真空干燥箱由于外殼由鋼板沖壓折制、焊接成型，而且外殼表面采用高強度的靜電噴塑涂裝處理，漆膜光滑牢固。工作室采用碳鋼板或不銹鋼板折制焊接而成所以干燥箱十分堅固。而且新研制出來的防爆干燥箱進一步延伸了這些特點。一般的干燥箱都具有自行化操作，人性化結構，信息化處理等特點，節能。

真空干燥箱的優點包括：干燥速度快、；可降低樣品在高溫下變質的可能性；可避免空氣中的氧氣對樣品產生氧化作用；可減少能源消耗，因為可以在較低的溫度下實現干燥。然而，真空干燥箱也存在一些不足之處，例如：需要定期維護和保養；對樣品形狀和大小有一定限制；不能干燥所有類型的樣品。