特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內(nèi)能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產(chǎn)烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵潔凈烤箱內(nèi)外應經(jīng)常保持清潔，長期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務必風機是正常運轉(zhuǎn)，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結(jié)構、性能、工作原理及調(diào)整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據(jù)工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調(diào)節(jié)進氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實際情況合理調(diào)節(jié)進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。