一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

一般的電熱（鼓風(fēng)）無塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運(yùn)動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態(tài)下設(shè)這個指標(biāo)也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內(nèi)腔灰塵，保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，有無異常聲音，如有立即關(guān)閉機(jī)器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準(zhǔn)確，如不準(zhǔn)確，請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補(bǔ)償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準(zhǔn)確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時充入氮?dú)猓m用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導(dǎo)體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗(yàn)的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達(dá)到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運(yùn)行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

按動“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。

無塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機(jī)、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護(hù)保養(yǎng)工作，使用、維護(hù)應(yīng)有專職人員進(jìn)行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。