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有些真空鍍膜機(jī)真空計(jì)的讀數(shù),與氣體種類有關(guān),比如熱偶計(jì),電離真空計(jì)。選用適當(dāng)?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì),這些真空計(jì)便成了探測器,一般鍍膜機(jī)上都有真空計(jì),使用起來很方便,也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計(jì)的示漏物質(zhì)有,二氧化碳,丁烷,酒精等熱偶計(jì)反應(yīng)較慢,觀察要很仔細(xì)。用于電離計(jì)的示漏物質(zhì)有氦,氬,酒精等。
真空系統(tǒng)是鍍膜機(jī)達(dá)到工藝條件的基本設(shè)備,其真空度達(dá)不到或者達(dá)到真空度速度慢,都有可能是由于存在漏點(diǎn)所致,所以真空卷繞鍍膜機(jī)設(shè)備的真空系統(tǒng)需要定期真空檢漏。真空卷繞鍍膜機(jī)通常采用氦質(zhì)檢漏儀來查漏,主要用負(fù)壓法檢漏即將氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口接入鍍膜機(jī)的真空系統(tǒng),在可能泄漏地方噴氦檢漏。
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真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來越慢這種情況有兩種可能
1、設(shè)備內(nèi)部由于長時(shí)間鍍膜導(dǎo)致有些臟東西在加熱時(shí)放氣,所以這種情況需要維護(hù),即把內(nèi)部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒有發(fā)現(xiàn),尤其是各個(gè)傳動(dòng)部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計(jì)的變化檢查,但一般漏的不大時(shí)不好判斷,至于你說的真空1.9的那個(gè)其實(shí)也并不高,還有就是漏率是按照你的設(shè)備體積以及單位時(shí)間的真空下降程度來算的不是按照真空值計(jì)算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強(qiáng)就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數(shù)值。
真空鍍膜工藝在信息存儲(chǔ)范疇中的運(yùn)用薄膜資料作為信息記載于存儲(chǔ)介質(zhì),有其得天厚的優(yōu)勢:因?yàn)楸∧ず鼙∧軌蚴韬鰷u流損耗;磁化回轉(zhuǎn)極為敏捷;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀況簡單保持等。為了更精細(xì)地記載與存儲(chǔ)信息,必定要選用鍍膜技能。
主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。
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