獲得方法：利用高壓電離(或化學(xué)、光化學(xué)反應(yīng))，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉(zhuǎn)變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩(wěn)定性使其很難實(shí)現(xiàn)瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發(fā)生器現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)，隨產(chǎn)隨用。 臭氧發(fā)生器的分類 按臭氧產(chǎn)生的方式劃分，臭氧發(fā)生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機(jī)用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會(huì)造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進(jìn)水可導(dǎo)致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測(cè)裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會(huì)沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運(yùn)行之前予以清除。運(yùn)行故障或操作錯(cuò)誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會(huì)造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內(nèi)。

工作原理：臭氧發(fā)生器應(yīng)用的物理制氧原理，通過制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電暈放電生成臭氧；通過氣液混合系統(tǒng)進(jìn)行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。
電解式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器通常是通過電解純凈水而產(chǎn)生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡(jiǎn)單。但由于有臭氧產(chǎn)量無(wú)法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點(diǎn)，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設(shè)備上或某些特定場(chǎng)所內(nèi)使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
放電式臭氧發(fā)生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網(wǎng)狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無(wú)聲、脈沖流注、電暈、沿面、無(wú)聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無(wú)聲放電(即介質(zhì)阻擋放電)的電介質(zhì)是無(wú)聲放電臭氧發(fā)生器的重要組成,其作用為強(qiáng)化氣隙的電場(chǎng)強(qiáng)度以利于產(chǎn)生放電;防止氣隙擊穿,同時(shí)減小功率消耗;使氣隙的電場(chǎng)均勻,擴(kuò)大放電區(qū)域,利于臭氧的產(chǎn)生。一般而言,電介質(zhì)的介電系數(shù)越高,導(dǎo)熱性能越好越利于產(chǎn)生臭氧。臭氧發(fā)生器所用的電介質(zhì)主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機(jī)材料等多種類型。
電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機(jī)理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術(shù)進(jìn)展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質(zhì))電極與金屬氧化催化技術(shù),使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術(shù)跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽(yáng)極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來(lái)促進(jìn)臭氧氣體的產(chǎn)生。