按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。

工業廢水處理：微納米臭氧在工業廢水處理中應用十分普遍，常見的有對含酚、含氰及印染廢水處理等。臭氧能使氰絡鹽中的氰迅速分解，其反應為兩步，先將劇毒的CN-氧化為CNO-，以后再進一步氧化為CO2和N2，能使有毒廢水的毒性大幅度降低。微納米臭氧對含酚廢水處理，其對酚的降解速度與臭氧投加量與時間有關，且反應中PH值越高反應越快，微納米臭氧消耗越小。微納米臭氧對除分散染料以外的所有染料廢水都有脫色能力，他可以破壞染料中的發色或助色基因，達到脫色效果。

游泳池水處理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長.

飲用水處理：微納米臭氧用于飲用水處理，除滅菌效果好，無二次污染外，還兼有脫色、除味，去除鐵、錳、氧化分解有機物和助凝作用，有的報告指出，微納米臭氧能夠消殺水中一切對人體有害的物質。

（1）可使接種空間達到百級無菌凈化，臭氧殺菌能力是化學藥劑的幾十倍，且不產生抗藥性，可從根本上解除菇農接種難怕感染的煩惱。

（2）生產綠色、有機食用菌。臭氧是世界公認的殺菌而不造成農殘的消毒物質。臭氧（O3）不是添加的化學藥劑，是由空氣中的氧氣（O2）激化形成的氧元素氣體，瞬間完成殺菌后又很快還原為氧氣。食用菌空氣凈化接種機，創造無菌接種空間不用藥，無農殘！

（3） 化學藥劑不僅造成農殘，還損傷工作人員健康，挫傷菌種活力，對人員和菌種也是一次薰殺。而采用食用菌空氣凈化接種機，讓生產食用菌的人健康工作，讓食用菌在健康環境下生長，讓吃食用菌的人更加健康，達到“人菌共健康”。

（4）采用臭氧消毒，一次凈化可讓你在無菌凈化的空間自如接種，和接種箱接種比較，省略了入箱、封箱、熏蒸、出箱等環節，而這些工序，占到接種時間和勞動量的50%以上。

臭氧對細菌、霉菌、病菌等微生物具有的殺滅力。它殺滅病毒是通地直接破壞其RNA和NDA物質業完成的；而殺來細菌、老菌類微生物的過程則是臭氧作用于細薄臘，繼而破壞臘內組織直至溶解死亡。

優于紫外線照射
(1) 臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到物體表面且達到一定的照射強度標準才有殺菌效果。食品車間一般比較高大，致使紫外線照射強度遠遠不夠，特別是距離遠，照射產生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強，擴散性好，濃度均勻，沒有死角。

(2) 殺菌速度快。紫外線照射殺菌需要較長的作用時間，一般要照射6小時以上，而符合標準濃度的臭氧只需開機1小時以上。

(3) 高濕度下殺菌效果更好。紫外線照射殺菌在環境相對濕度達到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達到80%以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高，殺菌效果越好。這是由于高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這一特性對于食品行業中普遍存在的高濕環境特別適合。

(4) 有低濃度保潔功能。紫外線照射時生產人員離開現場，照射完成后無法用低功率的紫外線照射保潔；臭氧消毒時生產人員離開現場，消毒完成后可以調低臭氧發生量，用符合國家衛生標準的低濃度臭氧繼續保持生產車間的空氣清潔。

除臭凈化效果
臭氧依靠其強氧化性能可快速分解產生臭味及其其它氣味的有機或無機物質后達到脫臭效果，將臭味根源物質分解成無害物質。例如：將氨氧化成二氧化碳和水。