按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。

游泳池水處理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長.

飲用水處理：微納米臭氧用于飲用水處理，除滅菌效果好，無二次污染外，還兼有脫色、除味，去除鐵、錳、氧化分解有機物和助凝作用，有的報告指出，微納米臭氧能夠消殺水中一切對人體有害的物質。

水處理行業：

　　(1) 飲用水處理：微納米臭氧用于飲用水處理，除滅菌效果好，無二次污染外，還兼有脫色、除味，去除鐵、錳、氧化分解有機物和助凝作用，有的報告指出，微納米臭氧能夠消殺水中一切對人體有害的物質。

　　(2)游泳池水處理：目前主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長。

　　(3)養殖水處理：養殖水因富含有機物，水質很容易出問題，細菌病毒菌對魚蝦類的傳播也十分猖獗，微納米臭氧在養殖水處理中，除了滅菌和抑制病毒菌對魚蝦的感染、傳播外，還可以降解有機物，降低化學需氧量(COD)和生化需氧量(BOD)，又因其助凝作用，對改善水質是一項良好的措施。

　　(4)工業廢水處理：臭氧消毒機在工業廢水處理中應用十分普遍，常見的有對含酚、含氰及印染廢水處理等。臭氧能使氰絡鹽中的氰迅速分解，其反應為兩步，先將劇毒的CN-氧化為CNO-，以后再進一步氧化為CO2和N2，能使有毒廢水的毒性大幅度降低。微納米臭氧對含酚廢水處理，其對酚的降解速度與臭氧投加量與時間有關，且反應中PH值越高反應越快，微納米臭氧消耗越小。臭氧消毒機對除分散染料以外的所有染料廢水都有脫色能力，他可以破壞染料中的發色或助色基因，達到脫色效果。

臭氧消毒方法的性
臭氧作為廣譜無殘留污染的氣體消毒劑比食品行業常用的消毒劑具有特殊的性。與過氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛（福爾馬林）、二氧化硫等化學消毒劑相比，其殺菌能力與過氧乙酸相當，其他消毒劑。

臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘留污染，消毒后不需通風換氣。常規消毒均需通風換氣或化學中和，麻煩而又降低消毒效果。臭氧可直接對食品使用作殺菌或防霉保鮮，為干法消毒，簡單易行。臭氧殺菌濃度對食品是極微弱的氧化濃度，對食品無害。

臭氧消毒性能和功效
臭氧的殺菌能力不受PH值變化和氨的影響，其殺菌能力比氯大600-3000倍，它的滅菌、消毒作用幾乎是瞬時發生的，在水中臭氧濃度0.3 - 2 mg/L時，0.5 - 1min內就可以致死細菌。達到相同滅菌效果（如使大腸桿菌殺滅率達99%）所需臭氧水藥劑量僅是氯的0.0048%。

臭氧對酵母和寄生生物等也有活性，例如可以用它去除以下類型的微生物和病毒。

①病毒 已經證明臭氧對病毒具有非常強的殺滅性，例如Poloi病毒在臭氧濃度為0.05 - 0.45 mg/L時，2 min就會失去活性。

②孢囊 在臭氧濃度為0.3 mg/L下作用2.4 min就被完全除掉。

③孢子 由于孢衣的保護，它比生長態菌的抗臭氧能力高出10 - 15倍。

④真菌 白色念珠菌（candida albicans）和青霉屬菌（penicillium）能被殺滅。

⑤寄生生物（如螨蟲）在3 min后被殺滅。

⑥可以迅速殺滅空氣中的大腸桿菌，金葡萄球菌，白色念珠菌等病菌。

⑦可以分解空氣中的臭味，煙味，濃香水味。

此外，臭氧還可以氧化、分解水中的污染物，在水處理中對除嗅味、脫色、殺菌、去除酚、氰、鐵、錳和降低COD、BOD等都具有顯著的效果。