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按臭氧消毒機結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極船鴉匪蜜是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度雅愉舟享較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧消毒機成本遠開放式。
按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。
紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電 移動式臭氧消毒機 化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用廣泛的臭氧消毒機。
臭氧消毒機適用于各種汽車美容（清潔）護理店、汽車用品銷售公司、各地區的出租車公司、客運服務公司、公交車公司等單位用于各種車輛日常的汽車消毒除味、殺菌除霉 、清潔保養用途。汽車消毒凈化一體機還可以用于車站的候車廳、機房、庫房和酒店、賓館的客房日常滅菌消毒，清除甲醛、甲苯、汽油味、煙 味、汗味、霉菌等異味，同時達到凈化空氣的功效。
游泳池水處理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長.
飲用水處理：微納米臭氧用于飲用水處理，除滅菌效果好，無二次污染外，還兼有脫色、除味，去除鐵、錳、氧化分解有機物和助凝作用，有的報告指出，微納米臭氧能夠消殺水中一切對人體有害的物質。
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