按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。

紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電 移動式臭氧消毒機 化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用廣泛的臭氧消毒機。

臭氧消毒機適用于各種汽車美容（清潔）護理店、汽車用品銷售公司、各地區的出租車公司、客運服務公司、公交車公司等單位用于各種車輛日常的汽車消毒除味、殺菌除霉 、清潔保養用途。汽車消毒凈化一體機還可以用于車站的候車廳、機房、庫房和酒店、賓館的客房日常滅菌消毒，清除甲醛、甲苯、汽油味、煙 味、汗味、霉菌等異味，同時達到凈化空氣的功效。

游泳池水處理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長.

優于紫外線照射
(1) 臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到物體表面且達到一定的照射強度標準才有殺菌效果。食品車間一般比較高大，致使紫外線照射強度遠遠不夠，特別是距離遠，照射產生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強，擴散性好，濃度均勻，沒有死角。

(2) 殺菌速度快。紫外線照射殺菌需要較長的作用時間，一般要照射6小時以上，而符合標準濃度的臭氧只需開機1小時以上。

(3) 高濕度下殺菌效果更好。紫外線照射殺菌在環境相對濕度達到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達到80%以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高，殺菌效果越好。這是由于高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這一特性對于食品行業中普遍存在的高濕環境特別適合。

(4) 有低濃度保潔功能。紫外線照射時生產人員離開現場，照射完成后無法用低功率的紫外線照射保潔；臭氧消毒時生產人員離開現場，消毒完成后可以調低臭氧發生量，用符合國家衛生標準的低濃度臭氧繼續保持生產車間的空氣清潔。

除臭凈化效果
臭氧依靠其強氧化性能可快速分解產生臭味及其其它氣味的有機或無機物質后達到脫臭效果，將臭味根源物質分解成無害物質。例如：將氨氧化成二氧化碳和水。

臭氧消毒性能和功效
臭氧的殺菌能力不受PH值變化和氨的影響，其殺菌能力比氯大600-3000倍，它的滅菌、消毒作用幾乎是瞬時發生的，在水中臭氧濃度0.3 - 2 mg/L時，0.5 - 1min內就可以致死細菌。達到相同滅菌效果（如使大腸桿菌殺滅率達99%）所需臭氧水藥劑量僅是氯的0.0048%。

臭氧對酵母和寄生生物等也有活性，例如可以用它去除以下類型的微生物和病毒。

①病毒 已經證明臭氧對病毒具有非常強的殺滅性，例如Poloi病毒在臭氧濃度為0.05 - 0.45 mg/L時，2 min就會失去活性。

②孢囊 在臭氧濃度為0.3 mg/L下作用2.4 min就被完全除掉。

③孢子 由于孢衣的保護，它比生長態菌的抗臭氧能力高出10 - 15倍。

④真菌 白色念珠菌（candida albicans）和青霉屬菌（penicillium）能被殺滅。

⑤寄生生物（如螨蟲）在3 min后被殺滅。

⑥可以迅速殺滅空氣中的大腸桿菌，金葡萄球菌，白色念珠菌等病菌。

⑦可以分解空氣中的臭味，煙味，濃香水味。

此外，臭氧還可以氧化、分解水中的污染物，在水處理中對除嗅味、脫色、殺菌、去除酚、氰、鐵、錳和降低COD、BOD等都具有顯著的效果。