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雖然現代臭氧發生器的效率與傳統產品相比已經明顯提高，但有90%左右的電能不是用來生成臭氧而是轉變成熱量，如果這部分熱量得不到有效的散失，臭氧發生器放電間隙的溫度會持續升高甚至超過設計的運行溫度。高溫不利于臭氧的產生但利于臭氧的分解，導致臭氧產量和濃度下降。我們設計單循環冷卻水單元;當冷卻水溫度超過系統設計溫度或水量不足時，系統會自動發出報警信號。
臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發生器內。
電解池式臭氧發生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發生技術進展很大。近期發展的SPE(固態聚合物電解質)電極與金屬氧化催化技術,使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發生器的技術跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進臭氧氣體的產生。
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