臭氧為混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛生行業常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。

臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬解。
臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。

臭氧系統的核心技術和設備是發生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅提高了運行的效率，而且增加了系統連續運行的安全可靠性。設備的技術參數已經達到國際水平。
由于采用微間隙放電技術，使系統運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發生，提高了運行可靠性。

臭氧發生器電路由三管VT1、VT2與電感線圈L1一13、脈沖變壓器T、限流電阻器R1、充電電容器C3,雙向觸發二管叨5等組成推挽振蕩電路；濾波電感線圈L0,整流二管VD1與濾波電容器C1、C2等組成半波整流濾波電路。 接通電源，交流220V電壓經LO濾波，VD1整流后，在C1兩端產生十280V左右的電壓，供給推挽振蕩電路。 在開機瞬間，VT1導通。由于C3的充電作用，雙向觸發二管VD5截止。當C3兩端的充電電壓升至32V時，VD5被觸發而導通，使VT2導通。在VT2導通期間，C3逐漸放電，又使VT2截止。VTl導通后，在脈沖變壓器T的作用下，L1、L2上產生正反饋電壓，此電壓分別加至VTl和VT2的基，使VTl和VT2交替導通與截止（即VTl導通時，VT2截止；VT2導通時，VTl截止），推挽振蕩電路振蕩工作。 推挽振蕩電路工作后，在脈沖變壓器T的二次側繞組L6上產生脈沖高壓，使臭氧發生片VG工作，產生臭氧。

臭氧發生器使用說明：
1、臭氧發生器安裝人員要經過技術培訓才能開機維修；
2、使用臭氧機殺菌時，嚴禁工作人員在濃度較高的臭氧環境中上班和工作；
3、切記設備保養或維修時 處理電源斷掉和把臭氧泄氣的狀態下進行，能夠很好的確保人員安全維修；
4、如有異常，請立即斷電或者通知的人員進行檢修；
5、合格的接地線，安全可靠的接地，禁止安裝在氨氣易泄露或有發生爆炸危險的危險區；
6、對工藝流程臭氧發生器的應用方法操作人員應知曉，并且能熟練的操作此消毒設備；
7、如發生臭氧泄漏的情況需要時間關閉臭氧發生器，并開啟通風設備進行通風處理后，即時退出臭氧發生器使用空間，等空間余臭氧降至安全范圍再進入。

氧氣源臭氧發生器
內置臭氧制氧機：采用進口納米分子篩，利用空氣作為原料，通過分子塔生成高濃度氧氣．氧氣濃度在90%以上。
內置制氧機是在普通醫療家用制氧機基礎上，根據臭氧行業特點，開發的臭氧制氧設備。采用了適合臭氧環境的耐腐蝕材料。增加了多級除濕裝置，適合臭氧高濕度環境。設備發熱件和壓縮空氣經過深度冷卻，設備溫升低，適合連續穩定運行。整個設備耐腐蝕，耐潮濕，溫升低，可連續24小時穩定運行。