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臭氧發生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。
工作原理：臭氧發生器應用的物理制氧原理，通過制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產生電暈放電生成臭氧；通過氣液混合系統進行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。
放電式臭氧發生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無聲、脈沖流注、電暈、沿面、無聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無聲放電(即介質阻擋放電)的電介質是無聲放電臭氧發生器的重要組成,其作用為強化氣隙的電場強度以利于產生放電;防止氣隙擊穿,同時減小功率消耗;使氣隙的電場均勻,擴大放電區域,利于臭氧的產生。一般而言,電介質的介電系數越高,導熱性能越好越利于產生臭氧。臭氧發生器所用的電介質主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機材料等多種類型。
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