雖然現代臭氧發生器的效率與傳統產品相比已經明顯提高，但有90%左右的電能不是用來生成臭氧而是轉變成熱量，如果這部分熱量得不到有效的散失，臭氧發生器放電間隙的溫度會持續升高甚至超過設計的運行溫度。高溫不利于臭氧的產生但利于臭氧的分解，導致臭氧產量和濃度下降。我們設計單循環冷卻水單元;當冷卻水溫度超過系統設計溫度或水量不足時，系統會自動發出報警信號。

臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠開放式。

臭氧系統的核心技術和設備是發生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統連續運行的安全可靠性。設備的技術參數已經達到國際水平。 由于采用微間隙放電技術，使系統運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發生，提高了運行可靠性。 臭氧發生器放電單元所采用的模塊化設計方法，使設備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在進氣氣源質量的條件下，臭氧發生器放電單元連續運行的免維護時間可以長達5年。
臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。 臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。
電解式發生器： 該類臭氧發生器通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。
放電式臭氧發生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無聲、脈沖流注、電暈、沿面、無聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無聲放電(即介質阻擋放電)的電介質是無聲放電臭氧發生器的重要組成,其作用為強化氣隙的電場強度以利于產生放電;防止氣隙擊穿,同時減小功率消耗;使氣隙的電場均勻,擴大放電區域,利于臭氧的產生。一般而言,電介質的介電系數越高,導熱性能越好越利于產生臭氧。臭氧發生器所用的電介質主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機材料等多種類型。