獲得方法：利用高壓電離(或化學(xué)、光化學(xué)反應(yīng))，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉(zhuǎn)變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩(wěn)定性使其很難實(shí)現(xiàn)瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發(fā)生器現(xiàn)場生產(chǎn)，隨產(chǎn)隨用。 臭氧發(fā)生器的分類 按臭氧產(chǎn)生的方式劃分，臭氧發(fā)生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。

鑒別品質(zhì)：臭氧發(fā)生器品質(zhì)的優(yōu)劣可從制造材料、系統(tǒng)配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標(biāo)等多方面鑒別。的臭氧發(fā)生器應(yīng)是高介電材料制造、標(biāo)準(zhǔn)配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅(qū)動、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結(jié)構(gòu)劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是臭氧在內(nèi)外電極區(qū)間的間隙內(nèi)產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴(kuò)散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠(yuǎn)開放式。
臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內(nèi)。
水封供氣壓縮機(jī)用的浮閥或空氣干燥器上的凝結(jié)水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內(nèi)灌水。電暈室內(nèi)大量進(jìn)水可導(dǎo)致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續(xù)運(yùn)行之前予以清除。運(yùn)行故障或操作錯(cuò)誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內(nèi)，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設(shè)計(jì)和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內(nèi)。
工作原理：臭氧發(fā)生器應(yīng)用的物理制氧原理，通過制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產(chǎn)生電暈放電生成臭氧；通過氣液混合系統(tǒng)進(jìn)行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。
放電式臭氧發(fā)生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線狀、刷狀、螺線狀、網(wǎng)狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無聲、脈沖流注、電暈、沿面、無聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無聲放電(即介質(zhì)阻擋放電)的電介質(zhì)是無聲放電臭氧發(fā)生器的重要組成,其作用為強(qiáng)化氣隙的電場強(qiáng)度以利于產(chǎn)生放電;防止氣隙擊穿,同時(shí)減小功率消耗;使氣隙的電場均勻,擴(kuò)大放電區(qū)域,利于臭氧的產(chǎn)生。一般而言,電介質(zhì)的介電系數(shù)越高,導(dǎo)熱性能越好越利于產(chǎn)生臭氧。臭氧發(fā)生器所用的電介質(zhì)主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機(jī)材料等多種類型。