電解式臭氧消毒機通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。

高壓放電式臭氧消毒機按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型。臭氧消毒機工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊產生邊分解。水冷型發生器冷卻效果好，工作穩定，臭氧無衰減，并能長時間連續工作，但結構復雜，成本稍高。風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明邀洪顯。總體性能穩定的臭氧消毒機通常都是水冷式的。風冷一般只雄地紙用于臭氧產量較小的中低檔臭氧消毒機。在選用發生器時，應盡量選用水冷型的。

紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電 移動式臭氧消毒機 化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用廣泛的臭氧消毒機。

工業廢水處理：微納米臭氧在工業廢水處理中應用十分普遍，常見的有對含酚、含氰及印染廢水處理等。臭氧能使氰絡鹽中的氰迅速分解，其反應為兩步，先將劇毒的CN-氧化為CNO-，以后再進一步氧化為CO2和N2，能使有毒廢水的毒性大幅度降低。微納米臭氧對含酚廢水處理，其對酚的降解速度與臭氧投加量與時間有關，且反應中PH值越高反應越快，微納米臭氧消耗越小。微納米臭氧對除分散染料以外的所有染料廢水都有脫色能力，他可以破壞染料中的發色或助色基因，達到脫色效果。
養殖水處理：養殖水因富含有機物，水質很容易出問題，細菌病毒菌對魚蝦類的傳播也十分猖獗，微納米臭氧在養殖水處理中，除了滅菌和抑制病毒菌對魚蝦的感染、傳播外，還可以降解有機物，降低化學需氧量（COD）和生化需氧量（BOD），又因其助凝作用，對改善水質是一項良好的措施。
游泳池水處理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸銅等消段，在水質達標的同時，又造成二次污染，造成使水質扎眼，刺激皮膚等惡果，特別是液氯使用中潛在威脅很大，一旦泄露會造成大面積中毒污染，使用中使人提心吊膽。微納米臭氧技術在水質達標的情況下，完全沒有以上缺陷，微納米臭氧水還可消殺體菌以美容，更為經濟的是使用中減少或取消了藥物消耗，成本降低，水質保質期得以延長.