應(yīng)用
許多不同的清潔應(yīng)用已被成功展示:
?從金屬、陶瓷、聚合物和玻璃中清潔污染物
?清潔 Si、InP 和 GaAs 晶圓上的顆粒和污點
?清潔光學(xué)元件,即鍍膜鏡片、激光、IR 和 UV 光學(xué)元件、光纖
?表面分析前的樣品制備(俄歇、XPS、SIMS 和 AFM)
?一般實驗室、生產(chǎn)和潔凈室清潔
?各種基材制備
?清潔真空系統(tǒng)組件,包括電子和離子光學(xué)器件、波紋管、機加工零件
?從微電子和混合電路中
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