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碳化硅清洗劑
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碳化硅清洗劑SC181是我司專(zhuān)為碳化硅晶片超精密加工研發(fā)的水基清洗劑，可以徹底清除碳化硅晶片表面的微塵、細(xì)微顆粒物、有機(jī)物、金屬離子、金屬氧化物、殘留拋光液等污染物。 利用化學(xué)剝離的原理有效將鍵入在硅片表面的各種污染物去除，清洗劑中的活性物質(zhì)可以吸附在硅片表面，使其長(zhǎng)期處于易清洗的物理吸附狀態(tài)（>120h），而不像難清洗的化學(xué)吸附狀態(tài)轉(zhuǎn)化，并在表面形成保護(hù)層，防止顆粒的二次吸附，實(shí)現(xiàn)了把有害
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