分子泵維修常見問題及故障原因分析:

1.真空度正常,分子泵可以達(dá)到全速,但是噪音大

故障原因:前級泵問題,系統(tǒng)漏氣,軸承問題,轉(zhuǎn)速限定

建議: 分子泵運行過3年,可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損,建議送修檢測,如果放任不管,后續(xù)會磨損轉(zhuǎn)子,對泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷;

2.油棉污染:油棉變黑.發(fā)黃

建議: 3-4年更換分子泵油棉.Pfeiffer復(fù)合軸承分子泵內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤滑方式,可以給軸承降溫,減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承,避免污染物附著在軸承上面,能延長分子泵的使用壽命.

3.分子泵無法啟動:用手撥動葉片,葉片無法轉(zhuǎn)動

建議:轉(zhuǎn)子已完全卡住,建議立刻送修

4.分子泵異響:

故障原因:異物進(jìn)入,陶瓷軸承磨損或損壞,轉(zhuǎn)子動平衡問題,前級泵返油;工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時，會對旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成很大損害

建議: 立即停機送修檢測

5.分子泵無法達(dá)到全速,真空度抽不下去

建議:請檢查前級真空是否正常,如果是分子泵組,請先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時間后在觀察下,無法解決問題建議立即送修檢測

6.分子泵返油: 多數(shù)是由于前級泵返油導(dǎo)致,建議立即送修檢測

7.無法啟動:沒有供電,控制器沒有響應(yīng),沒有收到啟動信號,轉(zhuǎn)子卡住或軸承損壞

8.常見分子泵控制器維修故障代碼

Err 006: 啟動時間設(shè)定太短,系統(tǒng)漏氣或放氣閥打開,前級泵真空度問題

Err 021 / Err 108:控制器問題

Err 117:控制器問題,散熱問題,系統(tǒng)漏氣