“氪氣雜質檢測”通常是指對氪氣（Krypton, Kr）中所含雜質的分析和檢測。氪氣是一種稀有氣體，常用于照明、激光技術、航空航天、半導體制造等領域。在這些應用中，高純度的氪氣是至關重要的，因此對其雜質含量進行 檢測是非常必要的。 以下是關于氪氣雜質檢測的一些關鍵信息： 一、氪氣雜質檢測的意義

1. 確保產品質量 ：在半導體制造、光學器件等精密工業中，微量雜質影響設備性能。

2. 2. 保障安全 ：某些雜質具有毒性或可燃性，需要嚴格控制。

3. 3. 符合標準 ：許多行業對氪氣純度有明確要求（如電子級氣體標準）。 二、常見的氪氣雜質類型 氪氣中的常見雜質包括： | 雜質種類 | 常見物質 | 來源 | | | | | | 氮氣 (N?) | N? | 空氣污染、氣體分離過程 | | 氧氣 (O?) | O? | 同上 | | 氫氣 (H?) | H? | 來自氣體壓縮或管道泄漏 | | 二氧化碳 (CO?) | CO? | 空氣污染或工藝殘留 | | 水蒸氣 (H?O) | H?O | 氣體干燥不 | | 氬氣 (Ar) | Ar | 分離過程中未完全去除 | | 其他稀有氣體 | 如氙氣(Xe)、氖氣(Ne)等 | 分離不 | 三、氪氣雜質檢測方法

4. 1. 氣相色譜法（GC） 原理 ：利用不同氣體在色譜柱中的保留時間差異進行分離和定量分析。 適用 ：檢測痕量雜質（ppm 到 ppb 級別）。 儀器 ：氣相色譜儀（GC），通常配備 TCD（熱導檢測器）或 FID（氫火焰離子化檢測器）等。

5. 2. 質譜分析（GC MS） 原理 ：將氣相色譜分離后的組分送入質譜儀進行分子結構分析。 優點 ：靈敏度高，可識別未知雜質。 適用 ：復雜混合物中的痕量雜質分析。

6. 3. 紅外光譜法（FTIR） 原理 ：通過吸收特定波長的紅外光來識別氣體成分。 適用 ：檢測 CO?、H?O 等極性分子。

7. 4. 電化學傳感器 原理 ：通過測量氣體與電極反應產生的電流變化。 適用 ：檢測氧氣、氫氣等特定氣體。

8. 5. 激光吸收光譜（LAS） 原理 ：利用激光在特定波長下的吸收特性進行檢測。 優點 ：非接觸式、實時監測能力強。 適用 ：在線監測系統。 四、檢測標準與規范 不同國家和地區對氪氣純度有不同的標準，： GB/T 17875 1999 《工業氪氣》 AS D6059 ：美國材料與試驗協會對稀有氣體純度的標準 ISO 10423 ：國際標準化組織關于工業氣體的純度標準 五、檢測流程示例

9. 1. 樣品采集 ：使用采樣鋼瓶或氣袋采集氣體樣品。

10. 2. 預處理 ：根據檢測項目進行脫水、過濾等處理。

11. 3. 儀器檢測 ： 使用 GC 或 GC MS 進行定性和定量分析。 記錄各雜質的濃度。

12. 4. 數據分析 ：比對標準限值，判斷是否合格。