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為了配合di76．Zmm器件生產線的發展，我所研制了國內臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設計、減壓工藝的設計與調整
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提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下爐筒：包括抽真空管道、底座機架：全鑄鐵機架和底座? 坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成、分水器已經水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，上虞半導體材料生產設備的設計、制造和調試的股份制企業。通過人才引進，擁有一批高、中級技術型的研發設計人員和經營管理人才，具有自主的產品設計開發能力和相當規模的生產能力。依托浙江大學機械電子控制工程研究所的高科技優勢，通過與浙江大學大學科技園杭州慧翔電液技術開發有限合作，共同開發出擁有自主知識產權的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動晶體生長爐，并形成批量生產。
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