配合不同探測(cè)器的選擇，使Sigma 廣泛地適用于您的應(yīng)用：無論是正在開發(fā)的新材料、用于質(zhì)量檢查的顆粒還是生物或地質(zhì)標(biāo)本，該電鏡可助您研究各種樣品。在極端條件下，利用可變壓力（VP）成像，借助NanoVPlite，即使在低電壓下，也能在非導(dǎo)體上獲得出色的圖像和分析結(jié)果。

掃描電鏡可以采集多種不同類型的信號(hào)用于成像和分析，其中二次電子(SE)和背散射電子(BSE)信號(hào)是基本也是常見的兩種信號(hào)類型。
不同廠家和型號(hào)的電鏡在采集SE，BSE信號(hào)時(shí)所用的探測(cè)器都具有各自特的技術(shù)，但旁置式二次電子探測(cè)器和極靴下背散射電子探測(cè)器在架構(gòu)和工作原理方面相對(duì)固定，應(yīng)用也很廣泛，因此本文只會(huì)對(duì)旁置式二次電子探測(cè)器和極靴下背散射電子探測(cè)器進(jìn)行介紹。

掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準(zhǔn)確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非?？煽康募夹g(shù)，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內(nèi)含有元素或所含簡(jiǎn)單氧化物的重量百分?jǐn)?shù)和原子百分?jǐn)?shù)定量分析結(jié)果有機(jī)結(jié)合起來，對(duì)這種D類非金屬夾雜物給出一個(gè)全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結(jié)構(gòu)概念，用“復(fù)相夾雜物”代替目前常用的“復(fù)雜夾雜物”或“復(fù)合夾雜物”，重新認(rèn)識(shí)這個(gè)對(duì)鋼性能有重要影響的D類非金屬夾雜物，與業(yè)界同行商榷。

指出，復(fù)雜氧化物、復(fù)雜夾雜物、復(fù)雜化合物中用“復(fù)雜”來形容D類非金屬夾雜物不科學(xué)，“復(fù)雜”常被用來形容社會(huì)科學(xué)和人類生活的難易程度，很少用在術(shù)語的描述，用他形容這種D類非金屬夾雜物的復(fù)雜程度即抽象又不確切，不能給出形貌和數(shù)據(jù)的概念；第二，叫復(fù)合夾雜物也值得商榷，“復(fù)合”是一種攙和的意思，復(fù)合夾雜物是一種混合物的概念，混合物帶有機(jī)械混合之意，混合物內(nèi)各組元的分布無規(guī)律；第三，叫復(fù)雜化合物也不妥，化合物是純凈物，由不同種元素組成的純凈物叫做化合物，并可以用一種化學(xué)式表示，而混合物則不是，也沒有化學(xué)式。

特點(diǎn)
使用多視角成像功能查找樣品在成像物鏡中的佳位置
在進(jìn)行樣品信息的后期處理前，從不同視角采集信息對(duì)整個(gè)樣品成像
通過重組不同視角的信息來提高圖像的分辨率，然后使用特殊的去卷積算法進(jìn)一步提高圖像質(zhì)量

使用全新樣品定位方法創(chuàng)建多視角（ Multiview） 數(shù)據(jù)
使用折射率 n=1.38 的 Scale 介質(zhì)（Hama 等，Nat Neurosci 期刊，2011 年），或折射率 n=1.45 的水性澄清液（例如：CelExplorer Labs 公司生產(chǎn)的 FocusClear? 產(chǎn)品）進(jìn)行透明處理的組織來完成實(shí)驗(yàn)
使用可選的觸發(fā)界面維持生理?xiàng)l件，充分發(fā)揮成像信息和環(huán)境條件控制兩者相結(jié)合的優(yōu)勢(shì)
光透技術(shù)

電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測(cè)器造價(jià)昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測(cè)器，這時(shí)，可以使用二次電子探測(cè)器代替，但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除二次電子。

掃描電子顯微鏡是利用材料表面微區(qū)的特征（如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等）的差異，在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異，從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號(hào)是二次電子、背散射電子或吸收電子，其中二次電子是主要的成像信號(hào)[2]。圖3為其成像原理圖，高能電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。

掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多的性能、是用途為廣泛的一種儀器．它可以進(jìn)行如下基本分析：?
1、觀察納米材料
：
其具有很高的分辨率，可以觀察組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
2、材料斷口的分析：
其景深大，圖象富立體感，具有三維形態(tài)，能夠從斷口形貌呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。?
3、直接觀察大試樣的原始表面：
它能夠直接觀察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對(duì)試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背散射電子象）。
4、觀察厚試樣：
其在觀察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。
5、觀察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)：
試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大，可以在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)（即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn)），這對(duì)觀察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域帶來的方便。
6、在大視場(chǎng)、低放大倍數(shù)下觀察樣品，用掃描電鏡觀察試樣的視場(chǎng)大：
大視場(chǎng)、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對(duì)有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。?
7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察：
掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬（從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)），且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對(duì)進(jìn)行分析特別方便。?
8、觀察生物試樣：
由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點(diǎn)對(duì)觀察一些生物試樣特別重要。?
9、進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察：
如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以觀察相變、斷烈等動(dòng)態(tài)的變化過程。?
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料：
因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的，它是分解為近百萬個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。?
由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛?，F(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
設(shè)備廠家
德國蔡司、日本電子、日立、FEI等
測(cè)試機(jī)構(gòu)
各大高校、科研院所等
疑難解答
1、樣品導(dǎo)電性不好的話，對(duì)成像會(huì)有什么影響？
樣品導(dǎo)電性不好會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象（也有人叫荷電現(xiàn)象）。像會(huì)有很亮很亮地方出現(xiàn)。解決辦法：減低加速電壓，用BSE探頭，或者低真空[A10]?。
2、加高壓及關(guān)高壓后放氣各有什么主意事項(xiàng)呢?
加高壓般要達(dá)到額定真空，否則氣體電離度大、損傷電子槍，但是電鏡軟件一般都已經(jīng)設(shè)置好，不到工作真空，根本加不上去高壓，所以只要能夠加高壓，也無其他特別的問題;做完電鏡關(guān)閉高壓，等30秒以上，待燈絲冷卻后再放氣為宜，主要也是為了保護(hù)電子槍。
3、SEM升樣品臺(tái)有什么主意事項(xiàng)呢?
樣品臺(tái)有它的額定移動(dòng)距離，包括平面方向和上下方向，平面方向移動(dòng)到極會(huì)有報(bào)警提示，看到提示往回移動(dòng)即可。高度方向也如此，但是要注意向上移動(dòng)時(shí)，要緩慢，要防止堅(jiān)硬的試樣撞擊上方的探測(cè)器和極靴，損壞設(shè)備

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