Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領域 的苛刻任務而設計,它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達到高分 辨率。它由兩個協同工作的組件組成,即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調節—— 它 們組成一個全新的電子光學引擎。 BSE 的優 勢也可以為您提供良好的圖像襯度,讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優化幾何結 構和靜電場及磁場分布, 獲得出色的信號 探測效率, 從而可以在低電壓下達到亞納 米級分辨率。具體來說, 與標準的 Gemini 物鏡相比,它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍, 約 為 1mT ,并能夠進行 1kV 以下亞納米成像, 而無需將樣品浸沒在電磁場中。
分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下, 電子束色差降低, 從而實現更小的束斑。
在樣品臺減速技術模式下, 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強背散射探測器的檢 測效率。
背散射電子產生于樣品表面之下,可提供 樣品材質成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射, 被 Gemini 鏡筒電子束推進器吸入后射 到鏡筒內。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量,它們會在電 子束推進器內產生不同軌跡。
專為日常檢測和分析應用而設計,蔡司 EVO 擁有的操作 設計理念,無論是經驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色 的數據,特別適合于后續檢測中無法涂覆導電層的非
導電零部件。
產品應用領域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結構分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結構表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。
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