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浮力提拉單晶爐提拉機構特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設計成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內已有幾個廠家使用它生產泥酸鏗單晶。作為一種發明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問世以后,卻沒有進行深入探討。雖然FTD的設計有過幾次變化,但由于沒有掌握設計的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現象,嚴重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產生的根源;明確了FTD提拉機構的設計要領。希望這-一卜作能夠推動FTD的發展.并有助于單晶的生長研究和生產。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產生習C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。} 
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數值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。數值模擬是當實驗的費用太昂貴或無法常規進行時一種非常有用或的方法。舉例來說，對于無經驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節。所以數值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線，可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環形氣體分布器(11)；其特征在于經輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)
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