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供應商	北京瑞弛高科技有限公司店鋪
認證
報價	人民幣 300.00元每件
關鍵詞	NiV靶材,鎳合金靶材,純度99.95鎳釩,濺射鍍膜材料
所在地	北京交大東路46號301A,301B

產品詳細介紹

鎳釩靶材

名稱：鎳釩（NiV）靶材 Nickel Vanadium Target

純度：99.9%，99.95%, 99.99%

形狀：平面靶，柱狀靶，電弧靶，異型靶

在集成電路的膜層中一般用金做導電層，但金與晶圓（硅）容易生成AuSi低熔點化合物，導致金與硅界面粘接不牢固，因此在金和硅晶圓的表面之間增加了粘接層。一般用純鎳做粘接層，但鎳膜層和金膜導電層之間也會擴散，因此還需要阻擋層，來防止金膜層和鎳膜層之間的擴散。阻擋層常常采用熔點高的金屬，還要承受較大的電流密度，高屬釩便能滿足該要求。所以在集成電路領域會用到鎳濺射靶材、釩濺射靶材、金濺射靶材等。鎳釩濺射靶材是在鎳熔體中加入釩，制成鎳釩合金靶材，該合金鐵磁性較弱，更有利于磁控濺射，可同時實現鎳濺射靶材和釩濺射靶材的優點，一次完成鎳層（粘接層）和釩層（阻擋層）的制備。由于鎳釩合金無磁性，***應用在電子及信息產業等領域。

我們生產的Ni-7V wt%靶材規格值

純度	主成分(wt%)	雜質元素（≤ppm）	雜質之和(≤ppm)
V	Fe	Al	Si	C	N	O	S
99.99	7±0.5	20	30	20	100	30	100	20	100
99.95	7±0.5	200	200	200	100	100	200	50	500
99.9	7±0.5	300	300	300	100	100	200	50	500

所屬分類：有色金屬制品/鎳合金

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主營產品: 濺射靶材,高熵合金,科研合金,高純金屬

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