江蘇虎丘控制柜回收 江蘇虎丘單晶爐回收
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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國內(nèi)臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設計、減壓工藝的設計與調(diào)整
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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產(chǎn)效率；本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室3移動，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了當不再繼續(xù)加料時，化料器升降驅(qū)動裝置更好地驅(qū)動導料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，所述導流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設置，所述支撐桿191和導流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強外部化料器7的穩(wěn)固性，所述連接塊194少設置有兩個。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。
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