諸暨多晶硅鑄錠爐回收 諸暨離子泵回收
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并在副爐室3移取晶位的過程中,通過電動接晶托防止晶棒掉落,安全;當不再繼續加料時,通過化料器升降驅動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并通過化料器旋臂18的旋轉旋開外部化料器7,進而方便拆爐和清理;本發明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震,使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響,進而保晶棒質量;本發明的升降絲桿91、旋轉絲桿112和絲杠192的外側分別套裝有防塵罩,進而防止潤滑油脂揮發污染原料。
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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟,爐室、副爐室上升到位后對稱旋出,保主機穩定可靠,并便于機動取出晶體,拆裝熱場系統和清理爐內各部。爐體部件采用316L不銹鋼,法蘭整體鍛造,經過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質樸檢漏儀檢漏。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉部件:實現了籽晶軸較高轉速時的系統平穩性;籽晶軸旋轉及提拉密封均采用的磁流體密封組件,無泄露,長期使用不需充磁;精密花鍵軸及各驅動直流伺服電機均為進口件,確保系統具有很高的可靠性。提拉頭經過嚴格的靜平衡和動平衡測試,高速旋轉下籽晶晃動小于2mm,適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計,確保坩堝系統在超重低速工況下長期平穩運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間,可在熱場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進行連續拉晶。
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