膠水填充料用的石英粉可以依照結晶與否，分成結晶型石英粉（CAS：14464-46-1）與非結晶型（不定型）石英粉（CAS：60676-86-0）。前者價格較低，導熱系數較高；后者熱膨脹系數較低，尺寸安定性較佳。結晶型石英粉大多是從天然的石英礦中開采獲得的；非結晶型（不定型）石英粉是將結晶型石英粉在高溫中融化，再快速降溫淬火所得到的，所以又稱為熔融型石英粉。這兩種石英粉又會因為形狀的不同而有不規則狀或者是球狀等種類。前者吸油量較大，具有抗龜裂特性；后者吸油量較低，能夠獲得很大的填充量。
硅微粉：在業內人們將具有相應純度的石英礦研磨所得的超細粉或通過化學所得的二氧化硅（如白炭黑）細粉都有稱硅微粉。
石英粉：以石英原礦通過不同的加工設備粉碎所獲得的粉體。
微硅粉的生產方法主要有：
，三氯氫硅法將干燥的硅粉加入合成爐中，與通入的干燥氯化氫氣體在280～330℃有氯化亞銅催化劑存在下進行氯化反應，反應氣體經旋風分離除去雜質，再用氯化鈣冷凍鹽水將氣態三氯氫硅冷凝成液體，經粗餾塔蒸餾和冷凝，除去高沸物和低沸物，再經精餾塔蒸餾和冷凝，得到精制三氯氫硅液體。純度達到7個“9”以上、雜質含量小于1×10-7，硼要求在0.5×10-9以下。提純后的三氯氫硅送入不銹鋼制的還原爐內，用超純氫氣作還原劑，在1050～1100℃還原成硅，并以硅芯棒為載體，沉積而得多晶硅成品。
第二，用SiO2含量大約為95%的硅石和灰分少的焦炭混合，加熱到1900℃左右進行還原。此方法制得的硅純度為97%～98%，被稱作金屬硅。再將金屬硅融化后進行重結晶，用酸除去雜質，得到純度為99.7%～99.8%的金屬硅。如要將它做成半導體用硅，還要將其轉化成易于提純的液體或氣體形式，再經蒸餾、分解過程得到多晶硅。如需得到高純度的硅，則需要進行進一步的提純處理。
第三， 用SiO2含量大約為95%的硅石和灰分少的焦炭混合，用1000～3000kVA開式電弧爐，加熱到1900℃左右進行還原。
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