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為了方便副爐室3移動到取晶位，并方便副爐室3的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13，所述所述副爐室3通過副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅動裝置12上，以便通過副爐室升降驅動裝置12驅動副爐室旋臂14升降，并通過副爐室旋臂14帶動副爐室3升降，所述副爐室旋轉驅動裝置13連接在副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋臂14之間，以便使得副爐室旋轉驅動裝置13隨副爐室旋臂14一起升降，并通過副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室旋臂14旋轉，副爐室旋臂14又帶動副爐室3旋轉。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，大直徑硅單晶的制備與數(shù)值分析\大直徑硅單晶是微電子工業(yè)的基礎材料,廣泛應用于集成電路備件和硅片制造領域,是現(xiàn)今信息社會的基石。根據(jù)半導體設備材料產業(yè)協(xié)會(SEMI)的報告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續(xù)開發(fā)研究。當前主流集成電路設備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發(fā)400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現(xiàn)實需求。同時,開發(fā)下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰(zhàn)略意義。
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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設備中重要的產品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質量,易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應用。而此方法生產單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設備性能和生產效率的關鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標,本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結構特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。
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