掃描電鏡圖像的形成需要各個系統(tǒng)相互配合，電子光學(xué)系統(tǒng)為掃描電鏡提供的電子束，信號探測系統(tǒng)將電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號進(jìn)行采集與處理。電子光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)容請參考往期文章，本篇主要對掃描電鏡的信號探測系統(tǒng)進(jìn)行介紹。
STEM探測器和經(jīng)典的極靴下背散射電子探測器類似，一般也采用半導(dǎo)體材質(zhì)，并分割為好幾塊，
其中一塊位于樣品的正下方，主要用于接收正透過樣品的透射電子，即所謂的明場模式；還有的位于明場探測器的周圍，接收經(jīng)過散射的透射電子，即所謂的暗場模式。
組織透明處理技術(shù)能夠讓您深入大型生物樣品內(nèi)，例如：組織切片、大腦、胚胎、器官球狀體或活組織切片。您可以使用增強的光學(xué)穿透深度來捕獲整個器官的熒光信號。這也令其成為一項具有發(fā)展前景的技術(shù)，例如：檢測小鼠大腦神經(jīng)元網(wǎng)絡(luò)。
電子經(jīng)過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線能譜分析儀等來區(qū)分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線信號不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測器造價昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，這時，可以使用二次電子探測器代替，但需要設(shè)定一個偏壓電場以篩除二次電子。
掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應(yīng)的處理。
對樣品的要求
1、不會被電子束分解
2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好
3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道
4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝
5、觀察面應(yīng)該清潔，物
6、進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整
7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時電子束受到磁場的影響
掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準(zhǔn)確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非常可靠的技術(shù)，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內(nèi)含有元素或所含簡單氧化物的重量百分?jǐn)?shù)和原子百分?jǐn)?shù)定量分析結(jié)果有機結(jié)合起來，對這種D類非金屬夾雜物給出一個全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結(jié)構(gòu)概念
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