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由于 該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通，整個爐內的 一氧化硅與的混合氣體(包括坩堝支持器14下方的混合氣體)能通暢 地排出爐外，整個爐內不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對 加熱器7和坩堝支持器14等石墨器件的腐蝕，還可有效防止雜質粉塵吸附 在這些石墨器件上，從而確保了該爐的使用壽命。氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3與該爐的一對排氣口 13相對設置，縮短了排氣管路的長度，利 于提高排氣效率。
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真空技術在冶金、化工、輕工、食品、醫藥等領域得到了十分廣泛的應用，然而在這些領域大都存在塵埃對真空系統的危害問題。為保護真空系統或真空泵不受粉塵和固體顆粒污染和損壞，管路中需配置真空除塵器和真空過濾器。它們可保護真空閥門不被阻塞，避免閥板關閉不嚴造成漏氣，保護測量壓力的真空規管不受污損，防止泵受損而工作失常等，對真空設備的凈化和平穩、持續工作均很重要。除塵機理及過程從氣體中捕集分離粒子的除塵機理，主要有以下幾個方面:、重力氣流中的塵粒可以依靠重力自然沉降，從氣流中進行分離。由于塵粒的沉降速度一般較小，這個機理只適用于粗大的塵粒、離心力利用機械力來捕集分離含塵氣流中的粉塵，離心力除塵裝置是其中有效的除塵裝置。它對粒徑較小塵粒的分離捕集非常有效。含塵氣流作圓周運動時，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，離線裝料技術在直拉法硅單晶生產中的應用\引言直拉法(CZ)生產單晶硅是目前制備單晶硅的主要方法。在單晶生產過程中,傳統裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態多晶硅料一塊塊地從爐體外轉移到石英坩堝內,再進行合爐、真空檢漏[1]。整個過程非常緩慢,而且裝料過程中要避免硅料碎屑落入熱場內,裝料時間(清爐結束到合爐)約為2h,操作起來較繁瑣。此外,裝料工工作量不飽和,存在人力浪費現象;在車間內部裝料過程中涉及環節較多,硅料的潔凈度存在質量隱患,不能確保硅棒的產品質量[2]。隨著光伏市場競爭的日趨激烈,追求低成本和率成為每一個企業市場的逐勝之道。
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