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為了避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，進而保下驅動裝置4的工作精度，所述底座1和下驅動裝置4之間設置有減震裝置，所述下驅動裝置4的底端設置有承載板41，所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動影響到承載板41。
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除塵機理示、擴散當含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時，這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物，因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離，而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產生的不規則運動，使氣體分子之間的熱運動而產生的不規則運動，使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散，可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術網(認為如果有一物體置于氣體之中，一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上，從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒，如帶有一定的電荷，可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態下，塵粒的荷電量很小，因此，要得到較好的除塵效果，設置的高壓電場，使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結、加濕等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除塵方法去除。我們設計除塵器時要根據不同的具體情況，考慮一定的需要，采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續加料，如此循環，進而完成外部加料、化料，本發明可實現連續拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動，
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