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本發明的直拉式單晶生長爐中,經 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長,平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L,有效降低了生產成本,且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結構的整齊性,還利于提高電阻率的均布性。(2)本發明 的直拉式單晶生長爐中,碗形的氣流導向裝置設于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間,且氣流導向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設置,有效地減小了爐內空間,便于迅速及時地 將爐內的一氧化硅與的混合氣體排出,且利于減少熱能和的消耗量,使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外,由于該爐的排氣口與氣流 導向裝置的各通氣孔相連通,藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件;、本發明可通過副爐室升降驅動裝置和副爐室旋轉驅動裝置驅動副爐室移動,并在副爐室移取晶位的過程中,通過電動接晶托防止晶棒掉落,安全;、當不再繼續加料時,通過化料器升降驅動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并通過化料器旋臂的旋轉旋開外部化料器,進而方便拆爐和清理;、本發明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震,使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響,進而保晶棒質量。
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