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單晶爐的結構及基本操作;爐子本體包括機架、坩堝驅動裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機構、液壓驅動裝置、真空系統、沖系統及水冷系統。機架由底座、上立柱和下立柱組成,是爐子的支撐裝置。的光伏產業憑借著自身的努力,經過幾年的發展,在綜合實力上地位。的光伏自造產業,在幫助其他和地區實現節能減排的同時,有足夠的能力來幫助實現自身能源結構的調整。
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研究所國內以西安理工大學的晶體生長設備研究所為代表,自61年起開始生產晶體生長設備。主要產品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛機電工程有限是國內單晶硅生長爐行業的后起之秀,自主研發了真正的全自動控制系統,產品迅速了IC級硅材料行業和太陽能行業,主要產品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,本文從晶體生長物理基礎和流體力學的基本理論出發,結合硅單晶制備過程中熱質輸運的分析,采用實驗和數值分析相結合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對象,研究熱場結構、控制參數和外加磁場對大直徑硅單晶生長的影響。通過數值分析的手段,研究了結構參數和控制參數對晶體生長特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場制備出400mm和45
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