江蘇宿城控制屏回收 江蘇宿城直拉式單晶爐回收
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本發明的直拉式單晶生長爐中,經 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長,平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L,有效降低了生產成本,且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結構的整齊性,還利于提高電阻率的均布性。(2)本發明 的直拉式單晶生長爐中,碗形的氣流導向裝置設于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間,且氣流導向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設置,有效地減小了爐內空間,便于迅速及時地 將爐內的一氧化硅與的混合氣體排出,且利于減少熱能和的消耗量,使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外,由于該爐的排氣口與氣流 導向裝置的各通氣孔相連通,藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,(4) 電氣硬件設置、本系統的電氣柜內布局采用模塊化集中管理,各個模塊間連接簡單,單個模塊可以帶電維修,電機保護采用空氣開關和絲結合的方法便于操作和維護。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機箱布局合理,簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進行提示。
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